九州大学大学院 工学研究院 機械工学部門 熱流体物理研究室 Thermofluid Physics Laboratory
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レーザー微細加工

目的:簡易なレーザー微細加工の開発

従来技術
レーザー光を微小スポット径に集光
浅い焦点深度 → 厳密なアライメントが必要

本研究
深い焦点深度を持つベッセルビームの適用
厳密なアライメントが不要
簡易なレーザー微細加工の開発

課題:ベッセルビームの加工特性の把握

ドリル加工 溝加工 装置イメージ
ドリル加工 溝加工