研究内容

超精密・高能率加工技術（ギガレンジ加工技術）

テーマ

ダブルパルスフェムト秒レーザを用いた光励起加工

• 超精密・高能率加工技術
• 独創的加工・測定技術の開発評価
• 超精密計測技術