研究施設

レーザロータリエンコーダ　X-1M ［キヤノン社製］

このエンコーダは，半導体レーザの回折・干渉などの光の波動性を利用した波動光学式エンコーダである．グレーティングディスクと検出器が分離しており，一般的な軸一体型のエンコーダに比べ，測定器の取り付け偏心を抑えることが可能である．また，検出器の対称位置に2つの検出部を設けてあるコモンパス方式のため，グレーティングディスクの取り付け偏心の影響が相殺される仕組みになっている．仕様は以下のとおりである．

本体出力正弦波　225,000[PPR]
グレーティングディスク直径　100[mm]
グレーティングディスクスリットピッチ　5.0[ m]
グレーティングディスクスリット数　56,250
最大応答周波数　675[kHz]
累積精度　±1"
外径直径　140[mm]