メンバー/ Member

教授　黒河周平/ Syuhei Kurokawa, Professor
1998-1999年ドイツ・アーヘン工科大学客員研究員。機械要素部品の超精密加工・計測技術の研究では歯車のかみ合い伝達誤差の解析および工学表面の形状・粗さ測定とキャラクタリゼーションをはじめ、微小部品のナノマシニング、平坦化CMPに関する研究を展開。主な著書として「機械製作法Ⅱ」（共著、朝倉書店）、日本機械学会機素潤滑設計部門幹事、日本機械学会「RC261研究分科会」幹事、機素潤滑設計部門「P-SCD380分科会」幹事、精密工学会「プラナリゼーションCMP専門委員会」副委員長、精密工学会「超精密加工専門委員会」幹事、Precision Engineering 「Member of the Editorial Board」。

准教授　林　照剛/ Terutake Hayashi, Associate Professor
光応用加工，計測に関する研究に従事。現在の研究テーマは，ダブルパルスビームによる光励起面のフェムト秒レーザー加工，半導体ウェハ表面の非接触光計測技術の開発，蛍光ナノプローブを用いたナノ粒子粒径計測。

技術専門職員　松川洋二/ Youji Matsukawa, Engineering Official
精密加工技術を駆使・応用して部品製作を得意とし、機械要素部品の超精密加工ならびにCMP技術に関する研究に従事。

秘書　西由紀子/ Yukiko Nishi, Secretary
精密加工学研究室の秘書。

2023年度研究室所属学生は，課程博士 3名，社会人博士 0名，M2 4名，M1 4名，B4 5名，研究生 0名．
We have 3 students in doctoral coarse and 8 master coarse students and 5 students in bachelor's degree.