研究施設/ Facility

研究室の利用設備：加工機/ Processing

研磨装置/ Polishing

• MAT 卓上小型研磨実験装置MAT-BC15 （MAT社製）
• 高精度卓上小型ラッピングポリッシングマシン　NF300HP 　（NanoFactor社製）　　1台
• LM-15（LAPMASTER社製）　　3台
• ベルジャー式CMP装置

切削・研削装置/ Cutting, Glinding

• LS旋盤
• ホブ盤2台
• 歯面研削盤

研究室の利用設備：計測機器/ Test and Evaluation

表面性状観察・測定/ Surface Evaluation

• ビデオマイクロスコープ (キーエンス社製)
• 走査型電子顕微鏡 (キーエンス社製)
• ナノサーチ顕微鏡 OLS3500（OLYMPUS社製）
• 表面粗さ・輪郭形状測定機 SURFCOM NEX 200 DX2-13（東京精密社製）
• 三次元表面粗さ測定機 (小坂研究所社製)

精密形状測定/ Geometrical Shape

• 超高精度CNC三次元測定機　LEGEX776(ミツトヨ社製)
• CNC歯面測定器 CLP35(大阪精密機械社製)
• レーザ寸法測定器　LS-7500(キーエンス社製)
• レーザロータリエンコーダ　X-1M（キヤノン社製）
• 高速度ビデオカメラ (RedLake社製)

微粒子物性測定/ Particle evaluation

• 動的光散乱式粒径分布測定装置　LB-500 （HORIBA社製）