精密加工学研究室
Precision Machining Laboratory

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研究内容

超精密・高能率加工(ギガレンジ加工)

  • 超LSIデバイスの平坦化CMP
  • フェムト秒レーザーを用いた光励起加工
  • 新しいドラム式線接触型CMP装置の開発
  • ベルジャー型加工雰囲気制御CMP装置の開発
  • 高速・高能率ホブ切り加工
  • 高硬度歯車のCBN仕上げホブ切り
  • MEMS技術を利用したナノマシニング
  • テーマ

    加工プロセス・性能評価


    高精度計測・検査(ギガレンジ計測)

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