研究概要
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精密加工学研究室
Precision Machining Laboratory
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研究内容
加工プロセス・性能評価
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加工プロセス・性能評価
研磨パッドの溝形状性能評価試験
超高圧マイクロジェット洗浄試験
各種コーティング材料の性能評価試験
歯車の負荷能力・疲労寿命試験
テーマ
高圧マイクロジェット(HPMJ)によるCMPパッドの非破壊コンディショニングに関する研究
CMPにおけるパッドのダイヤモンド・コンディショニングと加工特性に関する研究
光触媒反応アシストによる難加工材料の加工
半導体の電解複合CMPに関する研究
微小径ロータリエンコーダ開発ナノ・マシニング
ADI歯車の長寿命域における面圧強さに関する研究
超精密・高能率加工(ギガレンジ加工)
高精度計測・検査(ギガレンジ計測)
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