研究内容

超精密・高能率加工技術（ギガレンジ加工技術）

テーマ

CVD-SICの超平坦化加工:大気圧プラスマ照射による表面改質

CVD-SICの超平坦化加工:ELID研削による中仕上げ加工

• 超精密・高能率加工技術
• 独創的加工・測定技術の開発評価
• 超精密計測技術